マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置（GDS） GD-Profiler2

型番

（GDS） GD-Profiler2

メーカー

(株)堀場製作所

仕様

発光部：ランプ型式マーカス型、試料印加⽅式13.56MHz⾼周波、⾼周波出⼒0-300W（可変）、パルス制御〈周波数〉 1〜100Hz（可変）〈Duty〉5〜50%（可変）、ガス圧⼒0〜 1000Pa（可変）、アノード径〈標準〉4mm、クリーニング機構モータ制御式⾃動クリーナ

設置場所

エネルギー理工学研究所北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

導入年度

2013年度

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概要

表⾯分析装置・深さ⽅向元素分析装置　迅速表面分析や非導電性材料の表面分析も可能パルススパッタ（特許）により低ダメージ・高分解能測定が可能顕微鏡観察用の前処理・エッチング機としても活用可能バルク分析（固体材料の定量分析）も可能

設置部局・専攻

宇治地区エネルギー理工学研究所
北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

利用対象者

京都大学内の方・他大学研究機関・企業（公募申し込み前に事前相談）

注意事項等

京都大学内利用者：担当者へご連絡ください。
その他の利用者：共同利用・共同研究拠点ゼロエミッションエネルギーまでご連絡ください。（有償利用と共同研究契約による利用があります）

利用規定（料金規定）

※申し込み方法の詳細は本機器HPでご確認ください。
http://www.iae.kyoto-u.ac.jp/zero_emission/

お問い合わせ先

エネルギー理工学研究所
附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）
TEL0774-38-3584
MAIL：muster-office*iae.kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。