マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS) GD-Profiler2
型番
(GDS) GD-Profiler2
メーカー
(株)堀場製作所
仕様
発光部:ランプ型式マーカス型、試料印加⽅式13.56MHz⾼ 周波、⾼周波出⼒0-300W(可変)、パルス制御〈周波数〉 1〜100Hz(可変)〈Duty〉5〜50%(可変)、ガス圧⼒0〜 1000Pa(可変)、アノード径〈標準〉4mm、クリーニング 機構モータ制御式⾃動クリーナ
設置場所
エネルギー理工学研究所 北2号館(一部は北1号館DuET実験棟)
導入年度
2013年度
概要
表⾯分析装置・深さ⽅向元素分析装置 迅速表面分析や非導電性材料の表面分析も可能パルススパッタ(特許)により低ダメージ・高分解能測定が可能顕微鏡観察用の前処理・エッチング機としても活用可能バルク分析(固体材料の定量分析)も可能
設置部局・専攻
宇治地区エネルギー理工学研究所
北2号館(一部は北1号館DuET実験棟)
利用対象者
(1) 京都大学(以下「本学」という。)の教職員又は学生
(2) 国、地方公共団体、国立大学法人又は独立行政法人に所属する者
(3) 研究・教育を目的とする法人又は団体に所属する者
(4) 民間企業に所属する者
注意事項等
設備を利用しようとする者(以下「申請者」という。)は、設備を利用しようとする日(複数日に連続してまたがる場合はその最初の日)の1年前から7日前までに、京都大学エネルギー理工学研究所設備利用申込書(様式1)(以下「設備利用申込書」という。)を所長に提出し、許可を受けなければならない。
利用規定(料金規定)
京都大学エネルギー理工学研究所設備の利用に関する要項https://www.iae.kyoto-u.ac.jp/center/images/kikiyoukou.pdf
お問い合わせ先
エネルギー理工学研究所
附属エネルギー複合機構研究センター(担当者:大村)
TEL0774-38-3584
MAIL:muster-office*iae.kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。