FIB後処理用イオンミリング装置 ナノミル Model1040
型番
Model1040
メーカー
米国E.A.Fischione社
仕様
イオン源：中空陽極放電、可変エネルギー：0.5〜6.0ｋV、 イオン源電流：3〜8ｍA、ビーム電流：Max.400μA、試料 ステージ回転1〜360°（1度刻み）、設定⾓度回転：0± 179°、ミリング⾓度：0〜45°
設置場所
エネルギー理工学研究所 北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）
導入年度
2013年度
概要
FIB(集束イオンビーム)により作製されたTEM試料に対する、後処理⽤ミリング装置
設置部局・専攻
宇治地区エネルギー理工学研究所
北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）
利用対象者
京都大学内の方・他大学研究機関・企業（公募申し込み前に事前相談）
注意事項等
京都大学内利用者：担当者へご連絡ください。
その他の利用者：共同利用・共同研究拠点ゼロエミッションエネルギーまでご連絡ください。（有償利用と共同研究契約による利用があります）
利用規定（料金規定）
※申し込み方法の詳細は本機器HPでご確認ください。
http://www.iae.kyoto-u.ac.jp/zero_emission/
お問い合わせ先
エネルギー理工学研究所
附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）
TEL0774-38-3584
MAIL：muster-office*iae.kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。