FIB後処理用イオンミリング装置ナノミル Model1040

米国E.A.Fischione社

FIB(集束イオンビーム)により作製されたTEM試料に対する、後処理用ミリング装置です。FIBを用いて試料を作製すると、表層のアモルファス化やガリウムの注入を生じることが多くあり、このようなダメージ層は10nm～30nmになることもあります。
ナノミルは、このよなダメージ層の除去に最適な装置です。
SED（2次電子検出器）により試料の画像を取得し、目的のスポットのみをピンポイントでイオンミリング出来ますので、リデポ（再堆積）の発生も防げます。

設置場所

57 北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

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ご利用案内

京都大学内の方

時間利用

9-17時のみ受付
利用料　2,000円/時間

その他研究機関の方

時間利用

9-17時のみ受付
利用料　2,500円/時間

企業など

共同研究

時間利用: 利用者が機器操作を行います。利用時間に応じて利用料金が発生します。
共同研究: 利用者は機器管理者と共同研究を行う必要があります。
（公募申し込み前に事前相談可能）

ご利用の申し込み

京都大学内の利用者：担当者へご連絡ください。

その他の利用者：共同利用・共同研究拠点ゼロエミッションエネルギーまでご連絡ください。
（有償利用と共同研究契約による利用があります）

※申し込み方法の詳細は本機器HPでご確認ください。
http://www.iae.kyoto-u.ac.jp/zero_emission/

お問い合わせ

エネルギー理工学研究所　附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）

TEL: 0774-38-3568
MAIL: ohmura.takamasa.2r*kyoto-u.ac.jp
「＊」を「@」に変更のうえご送信ください。

FIB後処理用イオンミリング装置 ナノミル Model1040

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