走査型電子顕微鏡　SU-8020

本装置は、超高分解能観察に適したコールド FE 電子銃を搭載したセミインレンズタイプの FE-SEM である。可動範囲は x,y ともに±25mm、最大試料サイズはΦ100mm。イオンスパッタ装置（日立 E-1030）があるので、導電性コーティング白金パラジウム）が可能。なお、下記の試料は観察不可。
・含水、含油
・粉末磁性体

工学研究科機械理工学専攻
工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
工学研究科航空宇宙工学専攻

(1) 京都大学大学院工学研究科（以下「研究科」という。）の教職員又は学生のうち、機械工学群に所属するもの又は京都大学（以下「本学」という。）の教職員のうち、機械工学群の協力講座に所属するもの
(2) 研究科の教職員又は学生のうち、機械工学群以外に所属するもの
(3) 本学の教職員又は学生のうち、研究科以外に所属するもの（機械工学群の協力講座に所属する者を除く。）
(4) 国、地方公共団体、国立大学法人若しくは大学共同利用機関法人、独立行政法人又は教育・研究を事業目的とする法人若しくは団体に所属する者
(5) 企業等において研究開発に従事する者
(6) その他管理責任者が適当と認める者

利用者自身による測定は不可。設備の操作は、利用者の指示のもと機械工学群の顕微鏡室の職員が行う。

https://www.t.kyoto-u.ac.jp/ja/research/yui/naiki/ko08qo

機械系共通　顕微鏡室
075-383-3736
ishikawa.kosuke.3s*kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。