高分解能ＲＢＳ装置

型番

メーカー

㈱神戸製鋼所

仕様

高分解能 RBS（ラザフォード後方散乱分光）装置、イオン種：He+イオン、最大加速電圧：400 kV、最大試料サイズ（mm）20×20×3、、深さ分解能 1 nm 以下

設置場所

桂地区C3棟地下1階 bB1N01室

導入年度

2000年度

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概要

極薄膜の元素組成の分析に最適。非破壊で高分解能の深さ方向分析（最表面～数10 nm の深さ領域）ができる。絶縁物の分析も可能。

設置部局・専攻

工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

利用対象者

(1) 京都大学（以下「本学」という。）の教職員又は学生
(2) 国、地方公共団体、国立大学法人若しくは大学共同利用機関法人、独立行政法人又は教育・研究を事業目的とする法人若しくは団体に所属する者
(3) 企業等において研究開発等に従事する者
(4) その他管理責任者が適当と認める者

注意事項等

依頼測定のほか利用者自身による測定も可能。ただし事前講習の受講が必要。

利用規定（料金規定）

お問い合わせ先

マイクロエンジニアリング専攻ナノ物性工学研究室　中嶋薫
075-383-3707
nakajima.kaoru.4a*kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。