プラズマエッチング装置　サムコ(株)製　RIE-400iPNK

塩素系高密度誘導結合プラズマによるGaAs系材料の高垂直性のドライエッチングが可能。

工学研究科電子工学専攻
工学研究科附属光・電子理工学教育研究センター

(1) 京都大学（以下「本学」という。）の教職員又は学生のうち、分野等に所属するものでフォトニック結晶面発光レーザーに関わる研究開発を目的に使用するもの
(2) 本学の教職員又は学生のうち、前号以外のものでフォトニック結晶面発光レーザーに関わる研究開発を目的に使用するもの
(3) 国、地方公共団体、国立大学法人若しくは大学共同利用機関法人、独立行政法人又は教育・研究を事業目的とする法人若しくは団体に所属する者でフォトニック結晶面発光レーザーに関わる研究開発を目的に使用するもの
(4) 企業等において研究開発に従事する者でフォトニック結晶面発光レーザーに関わる研究開発を目的に使用するもの
(5) その他管理責任者が適当と認める者

附属光・電子理工学教育研究センター　石崎　賢司
075-383-7032
ishizaki.kenji.2w*kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。