イオンスパッタコーディング装置 E-1030
型番
E-1030
メーカー
㈱日立ハイテク
仕様
放電方式：ダイオード放電マグネトロン形，ターゲット材料：Pt-Pd/Au-Pdから選択，試料サイズ：最大直径55mm/最大高さ20mm
設置場所
吉田地区工学部物理系校舎 地下1階 002室
導入年度
（不明）年度
概要
電子顕微鏡による観察や元素分析を行う際に、試料表面に導電性コーティングを施すための前処理装置です。コーティング材料としてPt-Pd（またはAu-Pd）を使用しています。準備、真空引き、コーティング、後片付けを含めた所要時間は、おおよそ30分程度と簡便に行えますが、EDXによる元素分析で試料含有元素に加えてPtとPd（あるいはAuとPd）のピークが検出されるようになりますのでご注意ください。元素分析を行う場合は、本装置でのスパッタコーティングよりも、真空蒸着装置を用いたカーボンコーティングの方が適している場合があります。
設置部局・専攻
工学研究科材料工学専攻
利用対象者
(1) 京都大学（以下「本学」という。）の教職員又は学生のうち、専攻又は工学部物理工学科材料科学コースに所属するもの
(2) 本学の教職員又は学生のうち、専攻又は工学部物理工学科材料科学コース以外に所属するもの
(3) 国、地方公共団体、国立大学法人若しくは大学共同利用機関法人、独立行政法人又は教育・研究を事業目的とする法人若しくは団体に所属する者
(4) 企業等において研究開発に従事する者
(5) その他管理責任者が適当と認める者
注意事項等
事前講習を受講のうえ、利用者自身で操作してください。
試料情報（組成、形状、個数）を下記連絡先にお知らせください。
利用規定（料金規定）
お問い合わせ先
材料工学専攻 教育研究支援室 技術職員 佐々木 宣治
075-753-5426
sasaki.nobuharu.7a*kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。