集束イオンビーム加工観察装置（FIB（FB-2200））

日立ハイテクノリジーズ(株)

大電流のイオンビームにより高速加工と数100µmレベルの大面積加工が可能
低加速イオンビーム（最低加速電圧2kV）による低ダメージ試料作製が可能
マイクロピックアップシステムが搭載されておりピンポイントで薄膜試料作製が可能
FIB装置内で10µmレベルの微小サンプルの摘出、固定、薄膜化がすべて可能

設置場所

57 北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

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ご利用案内

京都大学内の方

時間利用

9-17時のみ受付
利用料　3,000円/時間

その他研究機関の方

時間利用

9-17時のみ受付
利用料　4,000円/時間

企業など

共同研究

時間利用: 利用者が機器操作を行います。利用時間に応じて利用料金が発生します。
共同研究: 利用者は機器管理者と共同研究を行う必要があります。
（公募申し込み前に事前相談可能）

ご利用の申し込み

京都大学内利用者：担当者へご連絡ください。

その他利用者：共同利用・共同研究拠点ゼロエミッションエネルギーまでご連絡ください。
（有償利用と共同研究契約による利用があります）

※申し込み方法の詳細は本機器HPでご確認ください。
http://www.iae.kyoto-u.ac.jp/zero_emission/

お問い合わせ

エネルギー理工学研究所　附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）

TEL: 0774-38-3568
MAIL: ohmura.takamasa.2r*kyoto-u.ac.jp　
「＊」を「@」に変更のうえご送信ください。