集束イオンビーム加工観察装置（FIB（FB-2200）

型番

FIB（FB-2200）

メーカー

日立ハイテクノリジーズ(株)

仕様

低加速イオンビーム（最低加速電圧2kV）による低ダメージ試料作製が可能
マイクロピックアップシステムが搭載されておりピンポイントで薄膜試料作製が可能
FIB装置内で10µmレベルの微小サンプルの摘出、固定、薄膜化がすべて可能

設置場所

エネルギー理工学研究所北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

導入年度

2006年度

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概要

大電流のイオンビームにより高速加工と数100µmレベルの大面積加工が可能

設置部局・専攻

宇治地区エネルギー理工学研究所
北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

利用対象者

京都大学内の方・他大学研究機関・企業（公募申し込み前に事前相談）

注意事項等

京都大学内利用者：担当者へご連絡ください。
その他の利用者：共同利用・共同研究拠点ゼロエミッションエネルギーまでご連絡ください。（有償利用と共同研究契約による利用があります）

利用規定（料金規定）

※申し込み方法の詳細は本機器HPでご確認ください。
http://www.iae.kyoto-u.ac.jp/zero_emission/

お問い合わせ先

エネルギー理工学研究所
附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）
TEL0774-38-3584
MAIL：muster-office*iae.kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。