集束イオンビーム加工観察装置（FIB（FB-2200）

型番

FIB（FB-2200）

メーカー

日立ハイテクノリジーズ(株)

仕様

低加速イオンビーム（最低加速電圧2kV）による低ダメージ試料作製が可能
マイクロピックアップシステムが搭載されておりピンポイントで薄膜試料作製が可能
FIB装置内で10µmレベルの微小サンプルの摘出、固定、薄膜化がすべて可能

設置場所

エネルギー理工学研究所北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

導入年度

2006年度

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概要

大電流のイオンビームにより高速加工と数100µmレベルの大面積加工が可能

設置部局・専攻

宇治地区エネルギー理工学研究所
北2号館（一部は北1号館DuET実験棟）

利用対象者

(1) 京都大学(以下「本学」という。)の教職員又は学生
(2) 国、地方公共団体、国立大学法人又は独立行政法人に所属する者
(3) 研究・教育を目的とする法人又は団体に所属する者
(4) 民間企業に所属する者

注意事項等

設備を利用しようとする者(以下「申請者」という。)は、設備を利用しようとする日(複数日に連続してまたがる場合はその最初の日)の1年前から7日前までに、京都大学エネルギー理工学研究所設備利用申込書(様式1)(以下「設備利用申込書」という。)を所長に提出し、許可を受けなければならない。

利用規定（料金規定）

京都大学エネルギー理工学研究所設備の利用に関する要項https://www.iae.kyoto-u.ac.jp/center/images/kikiyoukou.pdf

お問い合わせ先

エネルギー理工学研究所
附属エネルギー複合機構研究センター（担当者：大村）
TEL0774-38-3584
MAIL：muster-office*iae.kyoto-u.ac.jp
「*」を「@」に変更のうえご送信ください。