USACO・桂結 機器一覧
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USACO
エネ研
集束イオンビーム加工観察装置（FIB（FB-2200）
USACO
エネ研
透過電子顕微鏡試料仕上げ加工装置（FIB後処理用イオンミリング装置 ナノミル Model1040）
桂結
工学
超音波熱圧着ディープアクセスウエッジワイヤーボンダー（７６００Ｄ仕様）
桂結
工学
汎用３D構造データ高精度収集・造形システム 石膏造形プリンタ ProJet 260C
桂結
工学
汎用３D構造データ高精度収集・造形システム 樹脂造形プリンタ ProJet 3500HD Max
桂結
工学
パルスレーザー加工システム
桂結
工学
空間光変調器
桂結
工学
超臨界乾燥装置
桂結
工学
半導体結晶成長装置 大陽日酸(株)製 HR-3216
桂結
工学
プラズマCVD装置 サムコ(株)製 PD-220
桂結
工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-6300 等
桂結
工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-9400#1 等
桂結
工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-9400#2 等
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-41iPK
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 ICP-110iPKU
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-200ku
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-200kuS
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-400iPNK
桂結
工学
反応性イオンエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-10NR-KU
桂結
工学