USACO・桂結 機器一覧
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桂結
工学
集束イオンビーム・走査型電子顕微鏡加工観察装置
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超臨界乾燥装置
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走査型プローブ顕微鏡
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全自動多目的Ｘ線回折装置
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工学
質量分析システム SCIEX X500R QTOF
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極微細周期構造解析システム
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４００ＭＨｚフーリエ変換核磁気共鳴装置 JNMECZ400S
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時間分解吸収分光解析システム
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工学
透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）
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工学
半導体結晶成長装置 大陽日酸(株)製 HR-3216
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工学
プラズマCVD装置 サムコ(株)製 PD-220
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工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-6300 等
桂結
工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-9400#1 等
桂結
工学
電子ビーム露光装置 日本電子(株)製 JBX-9400#2 等
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工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-41iPK
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工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 ICP-110iPKU
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-200ku
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工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-200kuS
桂結
工学
プラズマエッチング装置 サムコ(株)製 RIE-400iPNK
桂結
工学