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複合ビーム材料照射装置（DuET) ２基のMV級イオン加速器と高性能照射ステーション

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電界放出型透過電子顕微鏡(FE-TEM(JEM-2200FS)

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透過型電子顕微鏡(TEM(JEM-2010)) 4,000

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極低加速電圧電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM（ULTRA55）)

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低真空走査電子顕微鏡(LV-SEM(JSM-5600LV))

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集束イオンビーム加工観察装置（FIB（FB-2200））

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JIB-4500 集束イオン／電子ビーム 複合ビーム加工観察装置

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電界放出型電子プローブアナライザー(FE-EPMA(JXA-8500FK))

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